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アイエムエス ナノファブリケーション アーゲー

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  2023年 出願公開件数ランキング    第3738位 5件 上昇2022年:第14391位 1件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第6302位 2件 下降2022年:第3150位 5件)

(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-166336 シャント装置を有する調節可能永久磁石レンズ 2023年11月21日
特開 2023-165626 マルチビームパターン規定装置 2023年11月16日
特開 2023-138912 リソグラフィ描画法における熱膨張の補正 2023年10月 3日
特開 2023-26355 ビーム吸収構造体を有するビームパターン装置 2023年 2月24日
特開 2023-14010 電磁レンズ及び荷電粒子光学装置 2023年 1月26日
特開 2023-3998 電子ビーム描画装置、生産装置、電子ビーム描画方法、生産方法、プログラム 2023年 1月17日
特開 2023-4992 電子ビーム描画装置、電子ビーム描画方法、およびプログラム 2023年 1月17日

7 件中 1-7 件を表示

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2023-166336 2023-165626 2023-138912 2023-26355 2023-14010 2023-3998 2023-4992

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