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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第3738位 5件
(2022年:第14391位 1件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第6302位 2件
(2022年:第3150位 5件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-166336 | シャント装置を有する調節可能永久磁石レンズ | 2023年11月21日 | |
特開 2023-165626 | マルチビームパターン規定装置 | 2023年11月16日 | |
特開 2023-138912 | リソグラフィ描画法における熱膨張の補正 | 2023年10月 3日 | |
特開 2023-26355 | ビーム吸収構造体を有するビームパターン装置 | 2023年 2月24日 | |
特開 2023-14010 | 電磁レンズ及び荷電粒子光学装置 | 2023年 1月26日 | |
特開 2023-3998 | 電子ビーム描画装置、生産装置、電子ビーム描画方法、生産方法、プログラム | 2023年 1月17日 | |
特開 2023-4992 | 電子ビーム描画装置、電子ビーム描画方法、およびプログラム | 2023年 1月17日 |
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2023-166336 2023-165626 2023-138912 2023-26355 2023-14010 2023-3998 2023-4992
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