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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1648位 16件
(2012年:第1535位 16件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第810位 38件
(2012年:第1143位 24件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-211444 | マスクレス露光装置 | 2013年10月10日 | |
特開 2013-210517 | マスクレス露光装置 | 2013年10月10日 | |
特開 2013-205718 | 手動式ダイレクト露光装置のテーブル保護装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-205790 | 露光マーキング装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207251 | 放電ランプを備えた照明装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-207163 | 光源装置 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-134316 | 露光用調光装置 | 2013年 7月 8日 | |
特開 2013-129935 | 高熱伝導性炭素繊維バルクおよびその製造方法 | 2013年 7月 4日 | 共同出願 |
特開 2013-114175 | 反射屈折型投影光学系およびそれを備えた投影露光装置 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-110342 | 照明光学系 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-73909 | エキシマランプ | 2013年 4月22日 | |
特開 2013-69516 | 放電ランプ点灯装置および点灯方法 | 2013年 4月18日 | |
特開 2013-69506 | 放電ランプ | 2013年 4月18日 | |
特開 2013-69860 | LED光源装置および露光装置 | 2013年 4月18日 | |
特開 2013-69533 | エキシマランプ | 2013年 4月18日 |
16 件中 1-15 件を表示
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2013-211444 2013-210517 2013-205718 2013-205790 2013-207251 2013-207163 2013-134316 2013-129935 2013-114175 2013-110342 2013-73909 2013-69516 2013-69506 2013-69860 2013-69533
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