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株式会社オーク製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第1015位 27件 上昇2015年:第2117位 10件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第1218位 17件 上昇2015年:第3293位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-224301 マスクレス露光装置および露光方法 2016年12月28日
特開 2016-192325 放電ランプ 2016年11月10日
特開 2016-188952 露光装置、露光装置用測光装置、および露光方法 2016年11月 4日
特開 2016-177159 基板矯正治具を用いる露光装置、及び基板矯正治具 2016年10月 6日
特開 2016-173535 露光装置および露光方法 2016年 9月29日
特開 2016-167399 放電ランプ 2016年 9月15日
特開 2016-164656 除塵装置及びこれを備えた露光装置 2016年 9月 8日
特開 2016-146295 エキシマランプ 2016年 8月12日
特開 2016-137054 エキシマランプを利用した表面処理装置 2016年 8月 4日
特開 2016-139462 エキシマランプ装置 2016年 8月 4日
特開 2016-139463 エキシマランプ 2016年 8月 4日
再表 2014-21154 放電ランプ用陰極およびその製造方法 2016年 7月21日
特開 2016-108181 二酸化炭素還元装置および還元方法 2016年 6月20日
特開 2016-111197 露光装置 2016年 6月20日
特開 2016-111200 露光装置 2016年 6月20日

29 件中 1-15 件を表示

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2016-224301 2016-192325 2016-188952 2016-177159 2016-173535 2016-167399 2016-164656 2016-146295 2016-137054 2016-139462 2016-139463 2014-21154 2016-108181 2016-111197 2016-111200

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