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株式会社オーク製作所

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2016-224301	マスクレス露光装置および露光方法	2016年12月28日
特開 2016-192325	放電ランプ	2016年11月10日
特開 2016-188952	露光装置、露光装置用測光装置、および露光方法	2016年11月 4日
特開 2016-177159	基板矯正治具を用いる露光装置、及び基板矯正治具	2016年10月 6日
特開 2016-173535	露光装置および露光方法	2016年 9月29日
特開 2016-167399	放電ランプ	2016年 9月15日
特開 2016-164656	除塵装置及びこれを備えた露光装置	2016年 9月 8日
特開 2016-146295	エキシマランプ	2016年 8月12日
特開 2016-137054	エキシマランプを利用した表面処理装置	2016年 8月 4日
特開 2016-139462	エキシマランプ装置	2016年 8月 4日
特開 2016-139463	エキシマランプ	2016年 8月 4日
再表 2014-21154	放電ランプ用陰極およびその製造方法	2016年 7月21日
特開 2016-108181	二酸化炭素還元装置および還元方法	2016年 6月20日
特開 2016-111197	露光装置	2016年 6月20日
特開 2016-111200	露光装置	2016年 6月20日

29 件中 1-15 件を表示

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2016-224301 2016-192325 2016-188952 2016-177159 2016-173535 2016-167399 2016-164656 2016-146295 2016-137054 2016-139462 2016-139463 2014-21154 2016-108181 2016-111197 2016-111200

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