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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1015位 27件
(2015年:第2117位 10件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1218位 17件
(2015年:第3293位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-224301 | マスクレス露光装置および露光方法 | 2016年12月28日 | |
特開 2016-192325 | 放電ランプ | 2016年11月10日 | |
特開 2016-188952 | 露光装置、露光装置用測光装置、および露光方法 | 2016年11月 4日 | |
特開 2016-177159 | 基板矯正治具を用いる露光装置、及び基板矯正治具 | 2016年10月 6日 | |
特開 2016-173535 | 露光装置および露光方法 | 2016年 9月29日 | |
特開 2016-167399 | 放電ランプ | 2016年 9月15日 | |
特開 2016-164656 | 除塵装置及びこれを備えた露光装置 | 2016年 9月 8日 | |
特開 2016-146295 | エキシマランプ | 2016年 8月12日 | |
特開 2016-137054 | エキシマランプを利用した表面処理装置 | 2016年 8月 4日 | |
特開 2016-139462 | エキシマランプ装置 | 2016年 8月 4日 | |
特開 2016-139463 | エキシマランプ | 2016年 8月 4日 | |
再表 2014-21154 | 放電ランプ用陰極およびその製造方法 | 2016年 7月21日 | |
特開 2016-108181 | 二酸化炭素還元装置および還元方法 | 2016年 6月20日 | |
特開 2016-111197 | 露光装置 | 2016年 6月20日 | |
特開 2016-111200 | 露光装置 | 2016年 6月20日 |
29 件中 1-15 件を表示
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2016-224301 2016-192325 2016-188952 2016-177159 2016-173535 2016-167399 2016-164656 2016-146295 2016-137054 2016-139462 2016-139463 2014-21154 2016-108181 2016-111197 2016-111200
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