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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第2121位 11件
(
2016年:第5242位 3件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第2490位 6件
(
2016年:第9250位 1件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6222656 | センサ一体型吸着チャック及び処理装置 | 2017年11月 1日 | |
| 特許 6152971 | ワーク保持装置 | 2017年 6月28日 | |
| 特許 6152994 | 静電チャック及びガラス基板処理方法 | 2017年 6月28日 | |
| 特許 6128400 | ワーク保持装置及びこれを用いたワークの横ずれ検出方法 | 2017年 5月17日 | |
| 特許 6108163 | 面状発熱体 | 2017年 4月 5日 | |
| 特許 6069768 | 静電チャック装置及びその制御方法 | 2017年 2月 1日 |
6 件中 1-6 件を表示
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6222656 6152971 6152994 6128400 6108163 6069768
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