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野村マイクロ・サイエンス株式会社

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4844912 フォトレジストの除去方法及び除去装置 2011年12月28日
特許 4841538 濾過方法及び濾過装置 2011年12月21日
特許 4834314 炭酸エチレンの再生方法及び再生装置 2011年12月14日
特許 4823881 半導体用研磨スラリー中の異物検査方法及び異物検査装置 2011年11月24日
特許 4745326 超純水中の微粒子数測定方法、微粒子数測定用ろ過装置、その製造方法及びその装置に用いる中空糸膜ユニット 2011年 8月10日 共同出願
特許 4712665 純水製造方法及び純水製造装置 2011年 6月29日
特許 4644120 半導体研磨スラリー精製用素材、半導体研磨スラリー精製用モジュールおよび半導体研磨スラリーの精製方法 2011年 3月 2日 共同出願
特許 4617504 洗浄装置 2011年 1月26日

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4844912 4841538 4834314 4823881 4745326 4712665 4644120 4617504

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