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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5207417 | 真空排気装置、真空処理装置及び真空処理方法 | アルバック・クライオ株式会社 他 | 2013年 6月12日 |
特許 5127226 | 蓄冷器及びクライオポンプ | アルバック・クライオ株式会社 他 | 2013年 1月23日 |
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5207417 5127226
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4月14日(月) -
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4月15日(火) -
4月15日(火) - 大阪 大阪市
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4月16日(水) - 東京 大田
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4月17日(木) - 東京 大田
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4月18日(金) -
4月18日(金) -
4月18日(金) - 北海道 千代田区
4月14日(月) -
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