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(2016年: 0件)
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(2016年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6210984 | プラズマ発生装置及び基板処理装置 | 2017年10月11日 | |
特許 6150304 | インピーダンスマッチング装置、線形運動モジュール、及びラジオ周波数電力供給装置 | 2017年 6月21日 |
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6210984 6150304
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