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アーエスエム・イーぺー・ホールディング・ベスローテン・フェンノートシャップ

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1618位 15件 上昇2018年:第5373位 3件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第23568位 0件 下降2018年:第23370位 0件)

(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-209322 ガス分配システムおよびそれを備える反応器システム 2019年12月12日
特開 2019-210550 気相化学反応器およびその使用方法 2019年12月12日
特開 2019-205995 水素ラジカルを使用するための装置およびその使用方法 2019年12月 5日
特開 2019-203191 基材処理装置および方法 2019年11月28日
特開 2019-176147 基材処理装置及び方法 2019年10月10日
特開 2019-176148 基材ラックならびに基材処理システムおよび方法 2019年10月10日
特開 2019-169701 ハイブリッドリフトピン 2019年10月 3日
特開 2019-161227 反応器、反応器を含むシステム、並びにこれを製造する方法及び使用する方法 2019年 9月19日
特表 2019-523558 ギャップを充填する方法及び装置 2019年 8月22日
特開 2019-95794 改良された未露光フォトレジスト層の形成方法 2019年 6月20日
特開 2019-71404 半導体加工装置および半導体加工装置を較正する方法 2019年 5月 9日
特開 2019-63792 化学物質を反応チャンバへ分注する化学物質分注装置および方法 2019年 4月25日
特開 2019-44266 層形成方法 2019年 3月22日
特開 2019-36717 基材リフト機構及びこれを含む反応器 2019年 3月 7日
特開 2019-33249 単一処理チャンバー内の半導体膜からの酸化物及び炭素の除去のための装置及び方法 2019年 2月28日

15 件中 1-15 件を表示

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2019-209322 2019-210550 2019-205995 2019-203191 2019-176147 2019-176148 2019-169701 2019-161227 2019-523558 2019-95794 2019-71404 2019-63792 2019-44266 2019-36717 2019-33249

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