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アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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アプライドマテリアルズインコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5105335	拡散器重力支持体	2012年12月26日
特許 5108484	誘電ギャップ充填用のマルチステップ堆積・エッチング・堆積（ＤＥＰ−ＥＴＣＨ−ＤＥＰ）高密度プラズマ化学気相堆積プロセス	2012年12月26日
特許 5110754	研磨レート変更による終点監視	2012年12月26日
特許 5106729	ツール故障監視用の故障検出および仮想センサ法	2012年12月26日
特許 5105627	複数のアニールステップを用いた酸窒化シリコンゲート誘電体の形成	2012年12月26日
特許 5105334	基板キャリヤをパージするための方法及び装置	2012年12月26日
特許 5100936	基板処理チャンバ、堆積装置およびガス分配器	2012年12月19日
特許 5102217	プロセス削減反応器	2012年12月19日
特許 5103186	レーザベースアニーリングシステムにおける高温測定用の多重バンドパスフィルタリング	2012年12月19日
特許 5097335	プロセス変動のモニタシステムおよび方法	2012年12月12日	共同出願
特許 5090430	低誘電率膜の堆積処理方法、基板処理システム、デュアルダマシン構造の形成方法、およびデュアルダマシン構造	2012年12月 5日
特許 5090451	炭素含有シリコンエピタキシャル層の形成方法	2012年12月 5日
特許 5081437	酸化物形成方法	2012年11月28日
特許 5086419	遠隔の場所から処理チャンバへプラズマを供給する装置	2012年11月28日
特許 5084080	プラズマ誘発損傷を減少させる方法	2012年11月28日

188 件中 1-15 件を表示

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5105335 5108484 5110754 5106729 5105627 5105334 5100936 5102217 5103186 5097335 5090430 5090451 5081437 5086419 5084080

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