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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第216位 227件
(2012年:第238位 183件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第243位 163件
(2012年:第212位 188件)
(ランキング更新日:2025年7月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5377487 | 基板上の薄膜を識別するための方法及び装置 | 2013年12月25日 | |
特許 5374388 | パルス化したサンプルバイアスを用いる、半導体構造をエッチングするためのパルス化プラズマシステム | 2013年12月25日 | |
特許 5371785 | RFシャッター | 2013年12月18日 | |
特許 5371229 | シリコンと炭素を含有するエピタキシャル層の形成及び処理 | 2013年12月18日 | |
特許 5371917 | 原子層堆積のためのガス配送装置 | 2013年12月18日 | |
特許 5372909 | 太陽電池の窒化シリコンパッシベーション | 2013年12月18日 | |
特許 5371425 | 酸化物膜に窒素を組込むための方法及び装置 | 2013年12月18日 | |
特許 5372891 | 電子診断装置用の通信インタフェースデータベース | 2013年12月18日 | |
特許 5366413 | イオン電流に関連した発光分光法/残留ガス分析装置を使用するドーズ計測 | 2013年12月11日 | |
特許 5366436 | パターニングデバイスの洗浄方法、基板への層系の堆積方法、パターニングデバイスの洗浄システム及び基板に層系を堆積するためのコーティングシステム | 2013年12月11日 | |
特許 5367930 | 種層の生産性を向上させると共に半導体ウェーハの銅被覆処理用の3mmの縁部排除を達成するためのハードウェア設計、システム構成及び処理手順 | 2013年12月11日 | |
特許 5363470 | 窓付きの薄い研磨パッド及び成形プロセス | 2013年12月11日 | |
特許 5366923 | 可動又は柔軟なシャワーヘッド取り付け | 2013年12月11日 | |
特許 5363500 | 回転マグネトロンの任意走査経路の制御 | 2013年12月11日 | |
特許 5367068 | 半導体ウェハのエッチング装置 | 2013年12月11日 |
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5377487 5374388 5371785 5371229 5371917 5372909 5371425 5372891 5366413 5366436 5367930 5363470 5366923 5363500 5367068
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