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株式会社ニコン

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  2014年 出願公開件数ランキング    第27位 1289件 下降2013年:第20位 1832件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第25位 1361件 下降2013年:第24位 1436件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5633533 ノズル部材、液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法 2014年12月 3日
特許 5633148 露光装置の調整方法、露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 2014年12月 3日
特許 5634332 露光装置、ノズル部材、露光方法、及びデバイス製造方法 2014年12月 3日 共同出願
特許 5633508 圧電アクチュエータ及びレンズ鏡筒 2014年12月 3日
特許 5633181 デプスマップ出力装置 2014年12月 3日
特許 5633753 フォーカス制御方法および培養観察装置 2014年12月 3日
特許 5633518 データ処理装置 2014年12月 3日
特許 5633111 変倍光学系、及び、この変倍光学系を備えた光学機器 2014年12月 3日
特許 5633380 撮像装置 2014年12月 3日
特許 5633248 信号処理装置、欠陥検出装置、信号処理方法、欠陥検出方法およびプログラム 2014年12月 3日
特許 5630015 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 2014年11月26日
特許 5630345 駆動方法、露光方法及びデバイス製造方法 2014年11月26日
特許 5630627 検出方法、光学特性計測方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 2014年11月26日
特許 5630690 集光光学素子、集光装置及び光発電装置 2014年11月26日
特許 5630455 光学ユニット、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 2014年11月26日

1361 件中 46-60 件を表示

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5633533 5633148 5634332 5633508 5633181 5633753 5633518 5633111 5633380 5633248 5630015 5630345 5630627 5630690 5630455

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