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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第27位 1289件
(2013年:第20位 1832件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第25位 1361件
(2013年:第24位 1436件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5626433 | 照明光学系、露光装置、光学素子およびその製造方法、並びにデバイス製造方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5625285 | 照明装置 | 2014年11月19日 | |
特許 5625345 | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5626206 | 移動体装置、用力伝達装置、及び露光装置、並びにデバイス製造方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5625310 | 波面収差測定方法及び波面収差測定機 | 2014年11月19日 | |
特許 5626443 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5626230 | 露光装置及びデバイス製造方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5626710 | 基板貼り合わせ方法及び基板貼り合わせ装置 | 2014年11月19日 | |
特許 5625255 | 撮像装置 | 2014年11月19日 | |
特許 5625286 | 撮像装置 | 2014年11月19日 | |
特許 5621807 | 露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 | 2014年11月12日 | |
特許 5621259 | 顕微鏡装置 | 2014年11月12日 | |
特許 5622102 | 実像式変倍ファインダー、これを搭載する光学機器、および実像式変倍ファインダーの製造方法 | 2014年11月12日 | |
特許 5621350 | モータ装置、回転子の駆動方法、及びロボット装置 | 2014年11月12日 | |
特許 5621485 | 撮像装置および画像処理装置 | 2014年11月12日 |
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5626433 5625285 5625345 5626206 5625310 5626443 5626230 5626710 5625255 5625286 5621807 5621259 5622102 5621350 5621485
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