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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2013年 出願公開件数ランキング    第216位 227件 上昇2012年:第238位 183件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第243位 163件 下降2012年:第212位 188件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2013-531396 化学機械研磨中に基板エッジの応力を低減するための基板ホルダ 2013年 8月 1日
特表 2013-530536 ロードロックバッチオゾン硬化 2013年 7月25日
特開 2013-144848 基板を処理するための装置 2013年 7月25日
特表 2013-530516 ツインチャンバ処理システム 2013年 7月25日
特表 2013-530308 物理的気相堆積用のチャンバ 2013年 7月25日
特表 2013-529860 選択性変化により異なった層間のインターフェースを検出することによる化学機械研磨中の終点制御 2013年 7月22日
特表 2013-529560 CMPスラリ流の閉ループ制御 2013年 7月22日
特表 2013-529386 化学機械研磨における研磨速度補正のためのフィードバック 2013年 7月18日
特表 2013-529254 大面積電極にぴったりと嵌合されたセラミックス絶縁体 2013年 7月18日
特開 2013-141015 複数レベルのロードロックチャンバ、移送チャンバ、及びこれにインターフェイスするのに適したロボット 2013年 7月18日
特表 2013-529391 シリコン膜用選択エッチング 2013年 7月18日
特表 2013-529381 基板処理システムの流量制御装置を較正する方法及び装置 2013年 7月18日
特表 2013-528706 改善された粒子低減のためのプロセスキットシールド 2013年 7月11日
特開 2013-138114 半導体製造装置及びサセプタ支持部材 2013年 7月11日
特表 2013-528320 静電放電(ESD)の低減のための装置及び方法 2013年 7月 8日

227 件中 91-105 件を表示

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2013-531396 2013-530536 2013-144848 2013-530516 2013-530308 2013-529860 2013-529560 2013-529386 2013-529254 2013-141015 2013-529391 2013-529381 2013-528706 2013-138114 2013-528320

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