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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2013年 出願公開件数ランキング    第216位 227件 上昇2012年:第238位 183件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第243位 163件 下降2012年:第212位 188件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-127125 複数マグネトロン、特に二段型褶曲マグネトロンの連動走査 2013年 6月27日
特表 2013-527609 縦型インラインCVDシステム 2013年 6月27日
特表 2013-527319 短寿命種のためのプラズマ源を組み込んだプロセスチャンバ蓋の設計 2013年 6月27日
特開 2013-128124 プラズマイオン注入中にドーパント濃度を測定するための方法 2013年 6月27日
特表 2013-527621 パターン密度およびアスペクト比を増加させるための平坦化エッチングハードマスク 2013年 6月27日
特表 2013-526420 パッドウインドウ挿入物 2013年 6月24日
特表 2013-526778 限定プロセス容積PECVDチャンバ 2013年 6月24日
特表 2013-526783 超高選択性アッシング除去可能ハードマスク膜 2013年 6月24日
特表 2013-525124 薄いパッドにおける窓のモールディング 2013年 6月20日
特表 2013-526067 縦型インラインCVDシステム 2013年 6月20日
特表 2013-526061 スタック欠陥率を改善するアモルファスカーボン堆積法 2013年 6月20日
特表 2013-525609 回転磁石組立体及び中心に供給されるRF電力を有する物理蒸着チャンバ 2013年 6月20日
特表 2013-526063 オリフィス比コンダクタンス制御を用いたフロー分割誤差を低減するための方法及び装置 2013年 6月20日
特表 2013-526062 共用真空ポンプを備えたツインチャンバ処理システム 2013年 6月20日
特表 2013-526060 チャンバにガスを放射状に分配するための装置及びその使用方法 2013年 6月20日

227 件中 106-120 件を表示

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2013-127125 2013-527609 2013-527319 2013-128124 2013-527621 2013-526420 2013-526778 2013-526783 2013-525124 2013-526067 2013-526061 2013-525609 2013-526063 2013-526062 2013-526060

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