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芝浦メカトロニクス株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第512位 75件 下降2012年:第299位 142件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第361位 106件 下降2012年:第322位 112件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5210056 レーザ加工装置 2013年 6月12日
特許 5201990 半導体チップのピックアップ装置 2013年 6月 5日
特許 5198223 基板処理装置および基板処理方法 2013年 5月15日
特許 5196572 ウエーハ収納カセット検査装置及び方法 2013年 5月15日
特許 5192786 電子部品の供給装置、実装装置、供給方法及び実装方法 2013年 5月 8日
特許 5191484 表面検査装置 2013年 5月 8日
特許 5187939 外観検査装置 2013年 4月24日
特許 5190203 プラズマ発生装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2013年 4月24日
特許 5183382 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 4月17日
特許 5185678 スパッタリング装置及び方法 2013年 4月17日
特許 5183146 円盤状基板の検査装置 2013年 4月17日
特許 5186053 基板の搬送装置及び搬送方法 2013年 4月17日
特許 5183147 円盤状基板の検査装置 2013年 4月17日
特許 5180439 紫外光照射装置及び照射方法、基板製造装置及び基板製造方法 2013年 4月10日
特許 5180796 マグネトロンスパッタ装置及びマグネトロンスパッタ方法 2013年 4月10日

106 件中 61-75 件を表示

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5210056 5201990 5198223 5196572 5192786 5191484 5187939 5190203 5183382 5185678 5183146 5186053 5183147 5180439 5180796

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