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株式会社昭和真空

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  2011年 出願公開件数ランキング    第4080位 4件 下降2010年:第2457位 9件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第1078位 24件 上昇2010年:第1210位 18件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4724866 選択 圧電デバイスの周波数調整装置及び方法、並びに圧電デバイス 2011年 7月13日
特許 4725975 選択 真空蒸着装置及びその運用方法 2011年 7月13日
特許 4714920 選択 蒸着材料供給装置および方法 2011年 7月 6日
特許 4682311 選択 真空成膜装置および方法 2011年 5月11日
特許 4665155 選択 薄膜形成装置及びその方法 2011年 4月 6日
特許 4665160 選択 成膜装置に於ける成膜速度測定装置および方法 2011年 4月 6日
特許 4660241 選択 スパッタ装置 2011年 3月30日
特許 4635132 選択 連続式成膜装置および方法 2011年 2月16日
特許 4617101 選択 スパッタ装置 2011年 1月19日

24 件中 16-24 件を表示

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4724866 4725975 4714920 4682311 4665155 4665160 4660241 4635132 4617101

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