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アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド

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  2013年 出願公開件数ランキング    第34895位 0件 下降2012年:第11791位 1件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第1098位 25件 下降2012年:第950位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5365954 ガスの導入により、イオン注入処理の間の汚染を軽減し、表面特性を改変するためのシステム及び方法 2013年12月11日
特許 5354418 イオンビーム走査の制御方法並びにイオン注入の均一化のためのシステム 2013年11月27日
特許 5333733 荷電ビームダンプ及び粒子アトラクター 2013年11月 6日
特許 5333708 イオンビームの流れに乗った粒子の静電捕捉システム 2013年11月 6日
特許 5310977 イオン注入機用の汚染物質を減少させる構造体及びその方法 2013年10月 9日
特許 5304979 イオン注入のスキャン中に使用される改良されたイオンビーム 2013年10月 2日
特許 5293953 加工物移送装置及びその方法 2013年 9月18日
特許 5273437 イオンビーム注入装置用のワークピース移送システム及びその処理方法 2013年 8月28日
特許 5272242 イオンビームを集束させるためのシステム及び方法 2013年 8月28日
特許 5263601 イオン注入を補助する装置、イオン注入システム、及びイオンビームと加工物との相対的方位を確定するための方法 2013年 8月14日
特許 5257576 イオンを加工物に注入するシステム及びその方法 2013年 8月 7日
特許 5257562 イオン注入機のための大量ガス送出システム 2013年 8月 7日
特許 5224014 イオンビームに対して汚染粒子を除去するためのシステム及び方法 2013年 7月 3日
特許 5212760 イオン注入装置用のイオン源およびそのためのリペラ 2013年 6月19日
特許 5212820 汚染物収集面を備えたイオン注入装置 2013年 6月19日

25 件中 1-15 件を表示

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5365954 5354418 5333733 5333708 5310977 5304979 5293953 5273437 5272242 5263601 5257576 5257562 5224014 5212760 5212820

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