半導体ウェハ上に成膜する装置
半導体ウェハ上にエピタキシャル成長を行う装置
半導体ウェハ上に化合物半導体の膜を形成する装置
半導体製造用有機金属気相成長装置（ＭＯＣＶＤ装置）
半導体製造用ＣＶＤ装置
半導体製造用エッチング装置
その他の半導体製造装置
半導体製造装置に用いられる制御装置（減圧圧力制御装置・温度制御装置・回転制御装置を含む。）・ガス供給装置及びガス供給用部品・排ガス処理装置及び排ガス処理用部品・ウェハ搬送装置・ウェハ搬送用ロボット・ウェハ洗浄装置・温度測定装置・ウェハそり量測定装置
半導体製造装置・同装置用制御装置・同装置用ガス供給装置・同装置用排ガス処理装置・同装置用ウェハ搬送装置・同装置用ウェハ搬送用ロボット・同装置用ウェハ洗浄装置・同装置用温度測定装置・同装置用ウェハそり量測定装置に用いられる部品・付属品・配管具

半導体ウェハ上に成膜する装置・半導体ウェハ上にエピタキシャル成長を行う装置・半導体ウェハ上に化合物半導体の膜を形成する装置・半導体製造用有機金属気相成長装置（ＭＯＣＶＤ装置）・半導体製造用ＣＶＤ装置・半導体製造用エッチング装置・その他の半導体製造装置及びこれらの部品・付属品・配管具の修理・保守・設置
半導体製造装置に用いられる制御装置（減圧圧力制御装置・温度制御装置・回転制御装置を含む。）・ガス供給装置及びガス供給用部品・排ガス処理装置及び排ガス処理用部品・ウェハ搬送装置・ウェハ搬送用ロボット・ウェハ洗浄装置・温度測定装置・ウェハそり量測定装置及びこれらの部品・付属品・配管具の修理・保守・設置
半導体製造装置・同装置用制御装置・同装置用ガス供給装置・同装置用排ガス処理装置・同装置用ウェハ搬送装置・同装置用ウェハ搬送用ロボット・同装置用ウェハ洗浄装置・同装置用温度測定装置・同装置用ウェハそり量測定装置及びこれらの部品・付属品・配管具の修理・保守・設置に関する情報の提供