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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第1468位 17件 (2018年:第3054位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2019-178869 | ウェハパターンのエッジと基準パターンのエッジとの乖離量と基準パターンのスペース幅との関係を示す補正線を生成する方法および装置、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2019年10月17日 | |
特開 2019-178949 | 画像生成方法 | 2019年10月17日 | |
特開 2019-174940 | パターンエッジ検出方法 | 2019年10月10日 | |
特開 2019-169593 | 基板搬送システム | 2019年10月 3日 | |
特開 2019-153537 | 反射電子のエネルギースペクトルを測定する装置および方法 | 2019年 9月12日 | |
特開 2019-149510 | ウェーハ保持装置 | 2019年 9月 5日 | |
特開 2019-138748 | パターン計測方法 | 2019年 8月22日 | |
特開 2019-139864 | 走査電子顕微鏡のオートフォーカス方法 | 2019年 8月22日 | |
特開 2019-45225 | 画像生成方法 | 2019年 3月22日 | |
特開 2019-16776 | 自動的に設定された検査エリアを有する集積回路パターン検査のための方法および装置 | 2019年 1月31日 | |
特開 2019-11972 | パターンエッジ検出方法 | 2019年 1月24日 | |
特開 2019-12602 | 走査電子顕微鏡の操作パラメータを検証する方法 | 2019年 1月24日 | |
特開 2019-8599 | 順伝播型ニューラルネットワークを用いた画像ノイズ低減方法 | 2019年 1月17日 | |
特開 2019-8873 | 画像取得システムおよび画像取得方法 | 2019年 1月17日 | |
特開 2019-8928 | 試料ステージの動作を検査する方法 | 2019年 1月17日 |
17 件中 1-15 件を表示
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2019-178869 2019-178949 2019-174940 2019-169593 2019-153537 2019-149510 2019-138748 2019-139864 2019-45225 2019-16776 2019-11972 2019-12602 2019-8599 2019-8873 2019-8928
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