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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第3781位 5件
(2012年:第2026位 11件)
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(2012年:第1877位 12件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5375096 | 反射防止膜 | 2013年12月25日 | |
特許 5344869 | アルカリ可溶性シルセスキオキサンの製造方法 | 2013年11月20日 | |
特許 5332046 | 架橋可能なポリマーに基づく下層膜用組成物 | 2013年11月 6日 | |
特許 5327217 | 縮合芳香族環を含む反射防止膜組成物 | 2013年10月30日 | |
特許 5329999 | パターン形成方法 | 2013年10月30日 | |
特許 5323698 | 微細パターン形成用組成物およびそれを用いた微細パターン形成方法 | 2013年10月23日 | |
特許 5320603 | フォトレジスト組成物に使用するためのポリマー | 2013年10月23日 | |
特許 5320624 | フォトレジスト用の反射防止膜組成物 | 2013年10月23日 | |
特許 5320631 | 厚膜形成用のフォトレジスト組成物 | 2013年10月23日 | |
特許 5306755 | 基板処理液およびそれを用いたレジスト基板処理方法 | 2013年10月 2日 | |
特許 5306669 | シリカ質膜の形成方法およびそれにより形成されたシリカ質膜 | 2013年10月 2日 | |
特許 5299788 | 反射防止膜組成物 | 2013年 9月25日 | |
特許 5298337 | ポリシラザン廃棄物の処理 | 2013年 9月25日 | |
特許 5290204 | 微細パターンマスクおよびその製造方法、ならびにそれを用いた微細パターンの形成方法 | 2013年 9月18日 | |
特許 5266560 | 被膜用ストリッパ | 2013年 8月21日 |
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5375096 5344869 5332046 5327217 5329999 5323698 5320603 5320624 5320631 5306755 5306669 5299788 5298337 5290204 5266560
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