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AZエレクトロニックマテリアルズIP株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第3781位 5件 下降2012年:第2026位 11件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第1233位 21件 上昇2012年:第1877位 12件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5375096 反射防止膜 2013年12月25日
特許 5344869 アルカリ可溶性シルセスキオキサンの製造方法 2013年11月20日
特許 5332046 架橋可能なポリマーに基づく下層膜用組成物 2013年11月 6日
特許 5327217 縮合芳香族環を含む反射防止膜組成物 2013年10月30日
特許 5329999 パターン形成方法 2013年10月30日
特許 5323698 微細パターン形成用組成物およびそれを用いた微細パターン形成方法 2013年10月23日
特許 5320603 フォトレジスト組成物に使用するためのポリマー 2013年10月23日
特許 5320624 フォトレジスト用の反射防止膜組成物 2013年10月23日
特許 5320631 厚膜形成用のフォトレジスト組成物 2013年10月23日
特許 5306755 基板処理液およびそれを用いたレジスト基板処理方法 2013年10月 2日
特許 5306669 シリカ質膜の形成方法およびそれにより形成されたシリカ質膜 2013年10月 2日
特許 5299788 反射防止膜組成物 2013年 9月25日
特許 5298337 ポリシラザン廃棄物の処理 2013年 9月25日
特許 5290204 微細パターンマスクおよびその製造方法、ならびにそれを用いた微細パターンの形成方法 2013年 9月18日
特許 5266560 被膜用ストリッパ 2013年 8月21日

21 件中 1-15 件を表示

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5375096 5344869 5332046 5327217 5329999 5323698 5320603 5320624 5320631 5306755 5306669 5299788 5298337 5290204 5266560

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