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アルバック成膜株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第2449位 8件 下降2017年:第1882位 13件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第5366位 2件 下降2017年:第2490位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-204068 成膜装置及び成膜方法 2018年12月27日
特開 2018-205441 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク 2018年12月27日
特開 2018-206987 塗布装置及び気流制御ユニット 2018年12月27日
特開 2018-207043 貼り合わせ基板、製造方法 2018年12月27日
特開 2018-136504 マスクブランクス及びフォトマスク 2018年 8月30日
特開 2018-40890 位相シフタ膜の製造方法、位相シフトマスクブランクの製造方法、及び、位相シフトマスクの製造方法 2018年 3月15日
特開 2018-17825 位相シフタ膜の製造方法、位相シフトマスクブランクの製造方法、及び、位相シフトマスクの製造方法 2018年 2月 1日
特開 2018-4615 溶液成分分析キット、溶液成分分析方法、及び溶液成分分析装置 2018年 1月11日

8 件中 1-8 件を表示

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2018-204068 2018-205441 2018-206987 2018-207043 2018-136504 2018-40890 2018-17825 2018-4615

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