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アルバック成膜株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1882位 13件 上昇2016年:第4224位 4件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第2490位 6件 下降2016年:第2017位 9件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-227847 フォトマスクブランクおよびフォトマスク、製造方法 2017年12月28日
特開 2017-207713 マスクブランクスの製造方法 2017年11月24日
特開 2017-183374 塗布装置、マスクブランクの製造方法 2017年10月 5日
特開 2017-173461 位相シフトマスクブランクスの洗浄装置、位相シフトマスクブランクスの製造方法 2017年 9月28日
特開 2017-141482 機能部品、機能部品の製造方法 2017年 8月17日
特開 2017-134213 位相シフトマスクブランクおよび位相シフトマスク 2017年 8月 3日
特開 2017-97242 ケース、フォトマスクブランクスの輸送方法 2017年 6月 1日
特開 2017-87407 研磨方法、研磨装置 2017年 5月25日
再表 2014-171510 位相シフトマスクの製造方法、位相シフトマスク、及び位相シフトマスクの製造装置 2017年 2月23日
再表 2014-171512 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク 2017年 2月23日
再表 2014-103867 位相シフトマスクおよびその製造方法 2017年 1月12日
再表 2014-103875 位相シフトマスクおよびその製造方法 2017年 1月12日
再表 2014-80935 機能部品の製造方法 2017年 1月 5日

13 件中 1-13 件を表示

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2017-227847 2017-207713 2017-183374 2017-173461 2017-141482 2017-134213 2017-97242 2017-87407 2014-171510 2014-171512 2014-103867 2014-103875 2014-80935

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