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アルバック成膜株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第2115位 10件 上昇2010年:第5677位 3件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第3746位 4件 上昇2010年:第8338位 1件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-221377 マスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びフォトマスク 2011年11月 4日
特開 2011-164200 マスクブランクス及びハーフトーンマスク 2011年 8月25日
再表 2009-84516 マスクブランクス、マスクブランクスの製造方法及びマスクの製造方法 2011年 5月19日
特開 2011-95787 位相シフトフォトマスクブランクス及び位相シフトフォトマスク並びに半導体装置の製造方法 2011年 5月12日 共同出願
再表 2009-57660 ハーフトーンマスク、ハーフトーンマスクブランクス、及びハーフトーンマスクの製造方法 2011年 3月10日
再表 2009-48089 グレートーンマスクの製造方法 2011年 2月24日
特開 2011-13382 ハーフトーンマスクの製造方法 2011年 1月20日
特開 2011-13283 位相シフトマスクの製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法及び位相シフトマスク 2011年 1月20日
特開 2011-14628 ウェットエッチング方法 2011年 1月20日
特開 2011-14588 塗布装置及び気流制御板 2011年 1月20日

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2011-221377 2011-164200 2009-84516 2011-95787 2009-57660 2009-48089 2011-13382 2011-13283 2011-14628 2011-14588

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