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アルバック成膜株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2749位 7件 下降2019年:第2345位 9件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1779位 9件 上昇2019年:第8774位 1件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-205374 シリコンエッチング方法及びシリコン基板 2020年12月24日
特開 2020-202228 マスクブランクの製造方法、塗布装置 2020年12月17日
特開 2020-197675 マスク基板およびその製造方法 2020年12月10日
特開 2020-197698 マスクブランクス、ハーフトーンマスク、製造方法、製造装置 2020年12月10日
特開 2020-177048 マスクブランクスおよび位相シフトマスク、その製造方法 2020年10月29日
特開 2020-125815 仕切弁 2020年 8月20日
特開 2020-86087 マスクブランクスおよびマスク 2020年 6月 4日
特開 2020-60664 マスクブランクス、ハーフトーンマスク、製造方法 2020年 4月16日
特開 2020-16845 フォトマスクおよびその製造方法 2020年 1月30日

9 件中 1-9 件を表示

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2020-205374 2020-202228 2020-197675 2020-197698 2020-177048 2020-125815 2020-86087 2020-60664 2020-16845

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