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ト−キョ−・エレクトロン・アメリカ・インコーポレーテッド

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  2016年 出願公開件数ランキング    第33513位 0件 下降2015年:第32490位 0件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第24808位 0件 下降2015年:第23268位 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6045504 側壁像転写ピッチダブリング及びインライン限界寸法スリミング 2016年12月14日
特許 6025735 マイクロ波プラズマを用いる誘電膜堆積方法 2016年11月16日
特許 6022469 基板のダブルパターニング方法 2016年11月 9日
特許 5944484 リソグラフィ適用において感放射線材料のラインを幅狭化する方法 2016年 7月 5日
特許 5925898 フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 2016年 5月25日

5 件中 1-5 件を表示

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6045504 6025735 6022469 5944484 5925898

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