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(
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2015年:第23268位 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6045504 | 側壁像転写ピッチダブリング及びインライン限界寸法スリミング | 2016年12月14日 | |
| 特許 6025735 | マイクロ波プラズマを用いる誘電膜堆積方法 | 2016年11月16日 | |
| 特許 6022469 | 基板のダブルパターニング方法 | 2016年11月 9日 | |
| 特許 5944484 | リソグラフィ適用において感放射線材料のラインを幅狭化する方法 | 2016年 7月 5日 | |
| 特許 5925898 | フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 | 2016年 5月25日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6045504 6025735 6022469 5944484 5925898
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