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セメス カンパニー,リミテッド

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  2021年 出願公開件数ランキング    第948位 29件 上昇2020年:第2497位 8件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第25492位 0件 下降2020年:第24204位 0件)

(ランキング更新日:2025年1月17日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-197553 基板処理装置、リフトピン高さ偏差の測定方法、及びコンピュータ読出し可能な処理プログラムを記録した記録媒体 2021年12月27日
特開 2021-182624 基板処理装置及びそのフェライトコア温度制御方法 2021年11月25日
特開 2021-174993 基板処理装置及び液供給方法 2021年11月 1日
特開 2021-132206 部品洗浄方法及び装置 2021年 9月 9日
特開 2021-111786 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 8月 2日
特開 2021-73706 基板処理装置 2021年 5月13日
特開 2021-72446 薬液供給装置、薬液のパーティクル除去方法、ノズルユニット、及び基板処理装置 2021年 5月 6日
特開 2021-72448 基板処理装置 2021年 5月 6日
特開 2021-72449 基板処理装置及び方法 2021年 5月 6日
特開 2021-72450 支持ユニット、これを含む基板処理装置、及びこれを利用する基板処理方法 2021年 5月 6日
特開 2021-68893 基板処理装置及び方法 2021年 4月30日
特開 2021-61399 基板処理装置及び方法 2021年 4月15日
特開 2021-61400 基板処理設備及び基板処理方法 2021年 4月15日
特開 2021-57590 基板処理装置及び処理液供給方法 2021年 4月 8日
特開 2021-49519 基板処理装置、基板処理方法、及びノズルユニット 2021年 4月 1日

29 件中 1-15 件を表示

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2021-197553 2021-182624 2021-174993 2021-132206 2021-111786 2021-73706 2021-72446 2021-72448 2021-72449 2021-72450 2021-68893 2021-61399 2021-61400 2021-57590 2021-49519

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