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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第455位 70件 (2022年:第532位 59件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-184408 | 走行ビヒクルを用いたレール環境モニタリング装置及び方法、並びにこれを含む物流移送装備 | 2023年12月28日 | |
特開 2023-184410 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年12月28日 | |
特開 2023-184445 | 半導体製造用部品キャリア、及びそれを用いた半導体製造用部品搬送装置 | 2023年12月28日 | |
特開 2023-183383 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年12月27日 | |
特開 2023-182525 | マイクロウェーブ供給装置、それを含むシステム及び半導体素子の製造方法 | 2023年12月26日 | |
特開 2023-177768 | 基板処理装置及び方法 | 2023年12月14日 | |
特開 2023-173578 | 基板処理装置 | 2023年12月 7日 | |
特開 2023-172431 | 基板処理方法 | 2023年12月 6日 | |
特開 2023-166205 | 基板処理方法 | 2023年11月21日 | |
特開 2023-158709 | 基板処理装置及び方法 | 2023年10月31日 | |
特開 2023-158445 | 基板処理装置 | 2023年10月30日 | |
特開 2023-152673 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年10月17日 | |
特開 2023-140649 | 支持ユニット及び基板処理装置 | 2023年10月 5日 | |
特開 2023-137422 | 液供給ユニット及び液供給方法 | 2023年 9月29日 | |
特開 2023-132206 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 9月22日 |
72 件中 1-15 件を表示
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2023-184408 2023-184410 2023-184445 2023-183383 2023-182525 2023-177768 2023-173578 2023-172431 2023-166205 2023-158709 2023-158445 2023-152673 2023-140649 2023-137422 2023-132206
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