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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第532位 59件
(2021年:第948位 29件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第4630位 3件
(2021年:第25492位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-189762 | 基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
特開 2022-189772 | 基板処理装置 | 2022年12月22日 | |
特開 2022-187993 | 基板処理方法及び装置、温度制御方法 | 2022年12月20日 | |
特開 2022-187998 | 搬送ユニット、物品搬送システム、及び搬送ユニットの制御方法 | 2022年12月20日 | |
特開 2022-186637 | 液処理装置及び薬液制御方法 | 2022年12月15日 | |
特開 2022-184764 | 基板処理装置及び基板処理システム | 2022年12月13日 | |
特開 2022-184797 | 容器及び基板処理システム | 2022年12月13日 | |
特開 2022-183136 | 基板処理装置 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-181197 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年12月 7日 | |
特開 2022-176901 | 基板処理装置及び基板搬送ロボット | 2022年11月30日 | |
特開 2022-176902 | リングキャリヤー及び基板処理システム | 2022年11月30日 | |
特開 2022-176911 | 基板処理装置 | 2022年11月30日 | |
特開 2022-159242 | 支持ユニット及び基板処理装置 | 2022年10月17日 | |
特開 2022-151827 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年10月 7日 | |
特開 2022-146921 | 基板処理装置 | 2022年10月 5日 |
59 件中 1-15 件を表示
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2022-189762 2022-189772 2022-187993 2022-187998 2022-186637 2022-184764 2022-184797 2022-183136 2022-181197 2022-176901 2022-176902 2022-176911 2022-159242 2022-151827 2022-146921
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