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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第532位 59件 (2021年:第948位 29件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第4630位 3件 (2021年:第25492位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-71851 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 5月16日 | |
特開 2022-64325 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 4月25日 | |
特開 2022-53507 | ウエハ型センサーユニット及びウエハ型センサーユニットを利用したデータ取得方法 | 2022年 4月 5日 | |
特開 2022-53517 | 接着剤層除去ユニット及びこれを利用する接着剤層除去方法 | 2022年 4月 5日 | |
特開 2022-51531 | 基板処理装置及び方法 | 2022年 3月31日 | |
特開 2022-46443 | 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 | 2022年 3月23日 | |
特開 2022-46444 | 洗浄ジグ、これを含む基板処理装置、そして基板処理装置の洗浄方法 | 2022年 3月23日 | |
特開 2022-45344 | 基板処理装置及びそのカバーリング | 2022年 3月18日 | |
特開 2022-36902 | 基板処理装置、イオン注入処理装置、及びイオン注入処理方法 | 2022年 3月 8日 | |
特開 2022-33032 | 基板搬送装置、基板処理装置、及び基板搬送方法 | 2022年 2月25日 | |
特開 2022-22142 | 支持ユニット、これを含む基板処理装置 | 2022年 2月 3日 | |
特開 2022-22143 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 2月 3日 | |
特開 2022-16342 | 基板処理装置及び方法 | 2022年 1月21日 | |
特開 2022-16347 | 基板搬送装置、基板処理装置、及び基板処理方法 | 2022年 1月21日 |
59 件中 46-59 件を表示
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2022-71851 2022-64325 2022-53507 2022-53517 2022-51531 2022-46443 2022-46444 2022-45344 2022-36902 2022-33032 2022-22142 2022-22143 2022-16342 2022-16347
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