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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第532位 59件 (2021年:第948位 29件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2022-92597 | 基板処理装置及び温度制御方法 | 2022年 6月22日 | |
特開 2022-92615 | 基板処理装置及びこれに提供されるフィラー部材 | 2022年 6月22日 | |
特開 2022-91120 | 基板処理装置及び基板支持ユニット | 2022年 6月20日 | |
特開 2022-91133 | シーリング部材及び基板処理装置 | 2022年 6月20日 | |
特開 2022-87065 | 基板処理装置 | 2022年 6月 9日 | |
特開 2022-83996 | 基板処理装置及び支持ユニットの結合方法 | 2022年 6月 6日 | |
特開 2022-83437 | 支持ユニット及びこれを含む基板処理装置及び温度制御方法 | 2022年 6月 3日 | |
特開 2022-82529 | 基板処理装置 | 2022年 6月 2日 | |
特開 2022-81442 | 支持ユニット及び基板処理装置 | 2022年 5月31日 | |
特開 2022-75634 | 距離測定システム及び距離測定方法 | 2022年 5月18日 | |
特開 2022-75654 | 基板処理装置 | 2022年 5月18日 | |
特開 2022-74028 | 搬送ハンド及び基板処理装置 | 2022年 5月17日 | |
特開 2022-74061 | 基板処理装置及び方法 | 2022年 5月17日 | |
特開 2022-74074 | 表面処理装置及び表面処理方法 | 2022年 5月17日 | |
特開 2022-71846 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 5月16日 |
59 件中 31-45 件を表示
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2022-92597 2022-92615 2022-91120 2022-91133 2022-87065 2022-83996 2022-83437 2022-82529 2022-81442 2022-75634 2022-75654 2022-74028 2022-74061 2022-74074 2022-71846
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