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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第455位 70件 (2022年:第532位 59件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第379位 81件 (2022年:第4630位 3件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7406601 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年12月27日 | |
特許 7404427 | 支持ユニット及び基板処理装置 | 2023年12月25日 | |
特許 7401510 | 基板処理装置及び温度制御方法 | 2023年12月19日 | |
特許 7394105 | 液供給ユニット及び液供給方法 | 2023年12月 7日 | |
特許 7391793 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年12月 5日 | |
特許 7390434 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年12月 1日 | |
特許 7389831 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年11月30日 | |
特許 7389845 | 基板処理装置 | 2023年11月30日 | |
特許 7386918 | 支持ユニット及び基板処理装置 | 2023年11月27日 | |
特許 7379419 | 基板処理装置、イオン注入処理装置、及びイオン注入処理方法 | 2023年11月14日 | |
特許 7377916 | 基板処理装置 | 2023年11月10日 | |
特許 7373478 | 薬液供給装置、薬液のパーティクル除去方法、ノズルユニット、及び基板処理装置 | 2023年11月 2日 | |
特許 7373606 | 基板処理装置及び基板搬送ロボット | 2023年11月 2日 | |
特許 7372998 | 制動ユニット及びタワーリフト | 2023年11月 1日 | |
特許 7369086 | 基板処理方法、基板処理装置、及び基板処理設備 | 2023年10月25日 |
81 件中 1-15 件を表示
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7406601 7404427 7401510 7394105 7391793 7390434 7389831 7389845 7386918 7379419 7377916 7373478 7373606 7372998 7369086
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