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セメス カンパニー,リミテッド

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 ■ 2023年 特許取得件数ランキング    第379位 81件 (上昇2022年:第4627位 3件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7406601 基板処理装置及び基板処理方法 2023年12月27日
特許 7404427 支持ユニット及び基板処理装置 2023年12月25日
特許 7401510 基板処理装置及び温度制御方法 2023年12月19日
特許 7394105 液供給ユニット及び液供給方法 2023年12月 7日
特許 7391793 基板処理装置及び基板処理方法 2023年12月 5日
特許 7390434 基板処理装置及び基板処理方法 2023年12月 1日
特許 7389845 基板処理装置 2023年11月30日
特許 7389831 基板処理装置及び基板処理方法 2023年11月30日
特許 7386918 支持ユニット及び基板処理装置 2023年11月27日
特許 7379419 基板処理装置、イオン注入処理装置、及びイオン注入処理方法 2023年11月14日
特許 7377916 基板処理装置 2023年11月10日
特許 7373606 基板処理装置及び基板搬送ロボット 2023年11月 2日
特許 7373478 薬液供給装置、薬液のパーティクル除去方法、ノズルユニット、及び基板処理装置 2023年11月 2日
特許 7372998 制動ユニット及びタワーリフト 2023年11月 1日
特許 7369086 基板処理方法、基板処理装置、及び基板処理設備 2023年10月25日

81 件中 1-15 件を表示

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7406601 7404427 7401510 7394105 7391793 7390434 7389845 7389831 7386918 7379419 7377916 7373606 7373478 7372998 7369086

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