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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第145位 329件 (2014年:第4165位 4件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第163位 189件 (2014年:第2004位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2015-183250 | 成膜装置および成膜方法 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-183985 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-184170 | 検査装置および検査方法 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-184234 | 温度測定装置および温度測定方法 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-184315 | データ補正装置、描画装置、データ補正方法および描画方法 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185317 | 触媒層形成方法および触媒層形成装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185453 | 電池用電極の製造方法および製造装置ならびに電極用構造物 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185644 | 基板処理装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185648 | 位置ずれ検出方法、位置ずれ検出装置、描画装置および基板検査装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185668 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185756 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185767 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185788 | 真空成膜装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185803 | 基板処理装置 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-185804 | 基板処理装置 | 2015年10月22日 |
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2015-183250 2015-183985 2015-184170 2015-184234 2015-184315 2015-185317 2015-185453 2015-185644 2015-185648 2015-185668 2015-185756 2015-185767 2015-185788 2015-185803 2015-185804
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