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株式会社SCREENホールディングス

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  2016年 出願公開件数ランキング    第117位 374件 上昇2015年:第145位 329件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第147位 240件 上昇2015年:第163位 189件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-160444 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2016年 9月 5日
特開 2016-162349 印刷データ生成装置、印刷データ生成方法、および印刷データ生成プログラム 2016年 9月 5日
特開 2016-162774 ヒータ異常検出装置、処理液供給装置、基板処理システム、およびヒータ異常検出方法 2016年 9月 5日
特開 2016-162799 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 2016年 9月 5日
特開 2016-162847 基板処理方法および基板処理装置ならびに流体ノズル 2016年 9月 5日
特開 2016-162865 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 2016年 9月 5日
特開 2016-162880 基板熱処理装置および基板温度調整方法 2016年 9月 5日
特開 2016-162922 基板処理装置 2016年 9月 5日
特開 2016-162923 基板処理装置 2016年 9月 5日
特開 2016-156648 パターン検査装置およびパターン検査方法 2016年 9月 1日
特開 2016-156923 光学デバイスおよび露光装置 2016年 9月 1日
特開 2016-157709 蒸気供給装置、蒸気乾燥装置、蒸気供給方法および蒸気乾燥方法 2016年 9月 1日
特開 2016-157811 基板処理装置および基板処理方法 2016年 9月 1日
特開 2016-157834 基板処理液供給方法および装置 2016年 9月 1日
特開 2016-157851 基板処理装置 2016年 9月 1日

376 件中 106-120 件を表示

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2016-160444 2016-162349 2016-162774 2016-162799 2016-162847 2016-162865 2016-162880 2016-162922 2016-162923 2016-156648 2016-156923 2016-157709 2016-157811 2016-157834 2016-157851

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