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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第117位 374件
(2015年:第145位 329件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第147位 240件
(2015年:第163位 189件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6022933 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年11月 9日 | |
特許 6017999 | 基板処理装置 | 2016年11月 2日 | |
特許 6018528 | 基板処理装置 | 2016年11月 2日 | |
特許 6019516 | 基板処理装置 | 2016年11月 2日 | |
特許 6016093 | 薬液供給装置、基板処理システム、および基板処理方法 | 2016年10月26日 | |
特許 6016096 | 基板処理装置 | 2016年10月26日 | |
特許 6016330 | 基板処理装置 | 2016年10月26日 | |
特許 6016514 | 基板処理装置 | 2016年10月26日 | |
特許 6016533 | 基板処理装置 | 2016年10月26日 | |
特許 6013097 | パターン描画装置、パターン描画方法 | 2016年10月25日 | |
特許 6013212 | パターン形成装置 | 2016年10月25日 | |
特許 6013825 | 画像処理装置及び画像処理方法 | 2016年10月25日 | |
特許 6014312 | 洗浄処理方法 | 2016年10月25日 | |
特許 6014313 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年10月25日 | |
特許 6008384 | 基板処理装置 | 2016年10月19日 |
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6022933 6017999 6018528 6019516 6016093 6016096 6016330 6016514 6016533 6013097 6013212 6013825 6014312 6014313 6008384
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