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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6803296 | 露光装置および基板処理装置 | 2020年12月23日 | |
特許 6803736 | 基板処理装置 | 2020年12月23日 | |
特許 6803737 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2020年12月23日 | |
特許 6804398 | 熱処理装置および熱処理方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804571 | 粒状物処理装置および粒状物処理方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6799409 | 基板処理装置 | 2020年12月16日 | |
特許 6799924 | 細胞観察装置および細胞観察方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6799960 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2020年12月16日 | |
特許 6799972 | インク消費量見積もり方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6800043 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6800675 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年12月16日 | |
特許 6800818 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6801926 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2020年12月16日 | |
特許 6802667 | 熱処理装置、基板処理装置、熱処理方法および基板処理方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6802726 | 基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送方法 | 2020年12月16日 |
240 件中 1-15 件を表示
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6803296 6803736 6803737 6804398 6804571 6799409 6799924 6799960 6799972 6800043 6800675 6800818 6801926 6802667 6802726
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