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株式会社SCREENホールディングス

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  2017年 出願公開件数ランキング    第145位 368件 下降2016年:第117位 374件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第139位 238件 上昇2016年:第147位 240件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-147339 基板保持状態の異常検査の検査領域の自動決定方法および基板処理装置 2017年 8月24日
特開 2017-147368 熱処理装置 2017年 8月24日
特開 2017-147369 基板処理装置 2017年 8月24日
特開 2017-147391 基板処理装置及び基板処理方法 2017年 8月24日
特開 2017-147408 基板処理装置および基板処理方法 2017年 8月24日
特開 2017-147440 基板処理装置および間隙洗浄方法 2017年 8月24日
特開 2017-142636 動作再現装置およびそれを備える基板処理装置、ならびに動作再現方法 2017年 8月17日
特開 2017-142897 膜・触媒層接合体の製造装置および製造方法 2017年 8月17日
特開 2017-143125 基板処理装置および基板処理方法 2017年 8月17日
特開 2017-143218 基板処理装置 2017年 8月17日
特開 2017-139312 接合形成方法 2017年 8月10日
特開 2017-139313 熱処理用サセプタおよび熱処理装置 2017年 8月10日
特開 2017-139315 熱処理用サセプタおよび熱処理装置 2017年 8月10日
特開 2017-139317 処理液気化装置と基板処理装置 2017年 8月10日
特開 2017-139442 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 2017年 8月10日

371 件中 121-135 件を表示

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2017-147339 2017-147368 2017-147369 2017-147391 2017-147408 2017-147440 2017-142636 2017-142897 2017-143125 2017-143218 2017-139312 2017-139313 2017-139315 2017-139317 2017-139442

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