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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第107位 385件
(2019年:第120位 389件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第118位 239件
(2019年:第98位 282件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-136679 | 基板処理装置、及び基板処理方法 | 2020年 8月31日 | |
特開 2020-127916 | 塗布装置および塗布方法 | 2020年 8月27日 | |
特開 2020-129060 | モデルデータ生成方法、パターン測定方法、補正パターンデータ生成方法およびモデルデータ生成装置 | 2020年 8月27日 | |
特開 2020-125520 | スパッタリング装置 | 2020年 8月20日 | |
特開 2020-126997 | シリコンエッチング液及び該エッチング液を用いたシリコンデバイスの製造方法 | 2020年 8月20日 | |
特開 2020-122673 | 基板検査装置、基板処理装置、基板検査方法および基板処理方法 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-123238 | 情報処理装置、情報処理方法、情報処理プログラム、学習方法および学習済モデル | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-123602 | 熱処理装置 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-123615 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-123689 | 搬送装置、露光装置および搬送方法 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-123889 | 信号処理装置および信号処理方法 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-116539 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 8月 6日 | |
特開 2020-118627 | 色予測方法および色予測プログラム | 2020年 8月 6日 | |
特開 2020-119928 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 8月 6日 | |
特開 2020-120077 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2020年 8月 6日 |
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2020-136679 2020-127916 2020-129060 2020-125520 2020-126997 2020-122673 2020-123238 2020-123602 2020-123615 2020-123689 2020-123889 2020-116539 2020-118627 2020-119928 2020-120077
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