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株式会社SCREENホールディングス

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  2021年 出願公開件数ランキング    第108位 369件 下降2020年:第107位 385件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第76位 336件 上昇2020年:第118位 239件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-47335 基板処理装置 2021年 3月25日
特開 2021-47677 参照画像生成装置、検査装置、アライメント装置および参照画像生成方法 2021年 3月25日
特開 2021-48075 プラズマ発生装置 2021年 3月25日
特開 2021-48270 基板搬送装置および基板搬送装置のハンドの位置補正方法 2021年 3月25日
特開 2021-48322 基板搬送装置および基板搬送方法 2021年 3月25日
特開 2021-48326 露光装置 2021年 3月25日
特開 2021-48327 露光装置および露光方法 2021年 3月25日
特開 2021-48351 検査方法および検査装置 2021年 3月25日
特開 2021-48352 基板処理方法 2021年 3月25日
特開 2021-48357 基板処理装置および基板処理方法 2021年 3月25日
特開 2021-48358 基板処理装置および基板搬送方法 2021年 3月25日
特開 2021-48359 基板処理装置 2021年 3月25日
特開 2021-48360 基板処理装置 2021年 3月25日
特開 2021-48361 基板処理方法および基板処理装置 2021年 3月25日
特開 2021-48362 基板処理装置 2021年 3月25日

373 件中 271-285 件を表示

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2021-47335 2021-47677 2021-48075 2021-48270 2021-48322 2021-48326 2021-48327 2021-48351 2021-48352 2021-48357 2021-48358 2021-48359 2021-48360 2021-48361 2021-48362

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