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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第7796位 2件
(2012年:第3044位 6件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1984位 11件
(2012年:第1614位 15件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5372223 | 成膜方法及び成膜装置 | 2013年12月18日 | |
特許 5367196 | 測定装置及び成膜装置 | 2013年12月11日 | |
特許 5354757 | 成膜方法及び成膜装置 | 2013年11月27日 | |
特許 5319856 | 膜厚測定装置及び成膜装置 | 2013年10月16日 | |
特許 5265050 | LED光源装置、膜厚測定装置及び薄膜形成装置 | 2013年 8月14日 | |
特許 5256363 | 薄膜形成装置 | 2013年 8月 7日 | |
特許 5189711 | 光学式膜厚計測装置及び光学式膜厚計測装置を用いた薄膜形成装置 | 2013年 4月24日 | |
特許 5156041 | 薄膜形成方法 | 2013年 3月 6日 | |
特許 5147028 | 成膜方法及び撥油性基材 | 2013年 2月20日 | |
特許 5126909 | 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | 2013年 1月23日 | |
特許 5116812 | 成膜方法及び撥油性基材 | 2013年 1月 9日 |
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5372223 5367196 5354757 5319856 5265050 5256363 5189711 5156041 5147028 5126909 5116812
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3月26日(水) -
3月26日(水) -
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