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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第5242位 3件
(
2015年:第1982位 11件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第3496位 4件
(
2015年:第3984位 3件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6021210 | 薄膜の成膜方法及び成膜装置 | 2016年11月 9日 | |
| 特許 5911160 | 薄膜の成膜方法及び成膜装置 | 2016年 4月27日 | |
| 特許 5901571 | 成膜方法 | 2016年 4月13日 | |
| 特許 5877934 | 油拡散ポンプ | 2016年 3月 8日 | |
| 特許 5859169 | 油拡散ポンプ及び真空成膜装置 | 2016年 2月10日 |
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6021210 5911160 5901571 5877934 5859169
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