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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第4725位 4件
(2021年:第5574位 3件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第3150位 5件
(2021年:第3400位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7171092 | 成膜制御装置、成膜装置及び成膜方法 | 2022年11月15日 | |
特許 7158065 | 成膜装置 | 2022年10月21日 | |
特許 7111380 | スパッタ装置及びこれを用いた成膜方法 | 2022年 8月 2日 | |
特許 7108347 | 成膜装置 | 2022年 7月28日 | |
特許 7045044 | 成膜方法及び成膜装置 | 2022年 3月31日 | |
特許 7041933 | 成膜方法及び成膜装置 | 2022年 3月25日 | |
特許 7017832 | バイアス印加装置 | 2022年 2月 9日 |
7 件中 1-7 件を表示
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7171092 7158065 7111380 7108347 7045044 7041933 7017832
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