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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第405位 81件
(2022年:第908位 29件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1516位 13件
(2022年:第6243位 2件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7405572 | 酸窒化膜を形成する方法 | 2023年12月26日 | |
特許 7391857 | 周期的堆積プロセスによって基材上に遷移金属含有膜を形成する方法、遷移金属ハロゲン化物化合物を反応チャンバーに供給する方法、及び関連蒸着装置 | 2023年12月 5日 | |
特許 7383106 | 低温でのSiNの堆積用Si前駆体 | 2023年11月17日 | |
特許 7383192 | 有機膜の気相堆積 | 2023年11月17日 | |
特許 7376278 | 固体原料昇華器 | 2023年11月 8日 | |
特許 7373636 | 選択的パッシベーションおよび選択的堆積 | 2023年11月 2日 | |
特許 7372247 | 堆積方法 | 2023年10月31日 | |
特許 7358084 | 基板処理装置、基板処理方法 | 2023年10月10日 | |
特許 7355475 | バッチ・ウエハ処理装置 | 2023年10月 3日 | |
特許 7350920 | 有機膜の堆積 | 2023年 9月26日 | |
特許 7330935 | 膜堆積プロセスにおける通常のパルスプロファイルの修正 | 2023年 8月22日 | |
特許 7321802 | 基板処理方法 | 2023年 8月 7日 | |
特許 7254762 | 垂直炉用のライナーおよびフランジ組立品ならびにライナーおよび垂直炉 | 2023年 4月10日 |
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7405572 7391857 7383106 7383192 7376278 7373636 7372247 7358084 7355475 7350920 7330935 7321802 7254762
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9月1日(月) - 東京 港区
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9月2日(火) - 東京 港区
9月3日(水) -
9月3日(水) -
9月4日(木) - 大阪 大阪市
9月4日(木) -
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