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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第3208位 6件
(2020年:第12781位 1件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第4240位 3件
(2020年:第24204位 0件)
(ランキング更新日:2025年3月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6981460 | バッフルユニット、これを含む基板処理装置 | 2021年12月15日 | |
特許 6954565 | 基板処理装置 | 2021年10月27日 | |
特許 6923889 | 基板処理装置 | 2021年 8月25日 |
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6981460 6954565 6923889
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