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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第4725位 4件
(
2021年:第3208位 6件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第3719位 4件
(
2021年:第4240位 3件)
(ランキング更新日:2026年3月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7190540 | バッフルユニット、これを含む基板処理装置 | 2022年12月15日 | |
| 特許 7138293 | 基板処理装置 | 2022年 9月16日 | |
| 特許 7115783 | 基板処理装置 | 2022年 8月 9日 | |
| 特許 7041431 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2022年 3月24日 |
4 件中 1-4 件を表示
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7190540 7138293 7115783 7041431
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