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マットソン テクノロジー インコーポレイテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第4198位 4件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第5375位 2件 上昇2014年: 0件)

(ランキング更新日:2025年5月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2015-529014 純還元性プラズマ中で高アスペクト比のフォトレジストを除去する方法 2015年10月 1日
特表 2015-518288 マイクロレンズを形成する方法 2015年 6月25日
特開 2015-79964 多数の加工物を処理する進歩したチャンバ 2015年 4月23日
特開 2015-46632 静電チャックシステムおよび基板表面に亘って温度プロファイルを半径方向に調整するための方法 2015年 3月12日

4 件中 1-4 件を表示

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2015-529014 2015-518288 2015-79964 2015-46632

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