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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第3520位 5件
(2017年:第34787位 0件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第8638位 1件
(2017年:第8798位 1件)
(ランキング更新日:2025年5月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2018-536988 | ミリ秒アニールシステムにおける基板支持 | 2018年12月13日 | |
特表 2018-536284 | 熱処理システムにおける基板破損検出 | 2018年12月 6日 | |
特表 2018-535542 | ミリ秒アニールシステムのための予熱方法 | 2018年11月29日 | |
特表 2018-534769 | ミリ秒アニールシステムのためのガスフロー制御 | 2018年11月22日 | |
特表 2018-517275 | プラズマ処理チャンバ内のエッチングプロセスのアジマス方向の均質性の制御 | 2018年 6月28日 |
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2018-536988 2018-536284 2018-535542 2018-534769 2018-517275
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