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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第2561位 8件 (2020年:第2497位 8件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2874位 5件 (2020年:第3265位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2021-533572 | 中性原子ビームを使用した被加工物処理のためのシステムおよび方法 | 2021年12月 2日 | |
特表 2021-530102 | エッチング後の脱フッ素化プロセス | 2021年11月 4日 | |
特表 2021-527955 | 被加工材の露光後ベーク処理のための方法および装置 | 2021年10月14日 | |
特開 2021-145139 | プラズマ処理装置のためのペデスタルアセンブリ | 2021年 9月24日 | |
特開 2021-145141 | 被加工物を処理するためのシステムおよび方法 | 2021年 9月24日 | |
特表 2021-517362 | 熱処理システムにおける局所加熱のための支持板 | 2021年 7月15日 | |
特表 2021-509525 | プラズマ処理装置および方法 | 2021年 3月25日 | |
特開 2021-5727 | ミリ秒アニールシステムのための予熱方法 | 2021年 1月14日 |
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2021-533572 2021-530102 2021-527955 2021-145139 2021-145141 2021-517362 2021-509525 2021-5727
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11月26日(火) -
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11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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