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三益半導体工業株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第3759位 5件 上昇2016年:第33513位 0件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第24017位 0件 上昇2016年:第24808位 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-208405 回転テーブル用ウェーハ回転保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 2017年11月24日
特開 2017-208447 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 2017年11月24日
特開 2017-208513 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 2017年11月24日
特開 2017-204569 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 2017年11月16日
特開 2017-188549 スピンエッチング方法及び装置並びに半導体ウェーハの製造方法 2017年10月12日
特開 2017-155198 研磨用組成物 2017年 9月 7日
特開 2017-11062 枚葉式ウェーハ洗浄処理装置及びウェーハ洗浄方法 2017年 1月12日

7 件中 1-7 件を表示

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2017-208405 2017-208447 2017-208513 2017-204569 2017-188549 2017-155198 2017-11062

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