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三益半導体工業株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第3701位 4件 上昇2022年:第27906位 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7376555 ウェーハ及びウェーハ積層体兼用のウェーハ保持構造並びに保持方法 2023年11月 8日
特許 7364641 スピンエッチング装置用ポンプフィルターの再生システム及び再生方法 2023年10月18日
特許 7352168 搬送ヘッドおよび搬送装置 2023年 9月28日
特許 7330307 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法 2023年 8月21日
特許 7300433 エピタキシャルウェーハの洗浄方法 2023年 6月29日

5 件中 1-5 件を表示

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7376555 7364641 7352168 7330307 7300433

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