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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 4786940 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2011年10月 5日 |
特許 4733405 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2011年 7月27日 |
特許 4672342 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2011年 4月20日 |
特許 4611118 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2011年 1月12日 |
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4786940 4733405 4672342 4611118
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